1. 星垂直起降吊挂,结构新颖独特,使用方便,安全可靠,并申请了专利;
2. 不锈钢热沉 , 热沉表面温度均匀性实际达到± 3K 创新指标;
3. 具有防污染措施
1) 试验空间设置深冷盘管,可以进行污染捕积;
2) 真空系统加液氮冷阱,尽量减少初级泵的油蒸汽污染;
3) 用三台微量天平测试污染量;
4) 用四极质谱仪监测容器内的残余气体;
4. 用工控机系统实现程序控制
1) 彩色动画面板实时显示系统的工作状态;
2) 20 点热沉温度动态曲线实时显示与输出;
3) 容器内各点真空度动态曲线实时显示与输出;
4) 污染量及残余气体量动态曲线实时显示与输出; |