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1 ．用途 |
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JCJ-1200 型系列磁控溅射镀膜设备是用磁控溅射方法在塑料薄膜基材上镀制太阳控制膜、低辐射膜、 ITO 透明导电膜、航天专用膜等功能性膜层。适应于镀制汽车、火车、轮船等前挡及玻璃门窗的贴膜；建筑门窗及幕墙贴膜；防静电和电磁贴膜；装饰贴膜和包装膜；太阳能暖房贴膜；电加热器膜；防霜雾透明膜；液晶显示和场致发光显示用透明电极膜；卫星、飞船上的隔离膜等。 |
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2 ．特点 |
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2.1 真空室由中隔板分成上下两室，上室为卷绕室，下室为溅射室。由多套真空机组和一套深冷吸附抽气系统（制冷温度 -130 ℃ ）对上室抽气。下室的个阴极之间用隔离槽隔离，并由单独的真空机组通过隔离槽对下室抽气，使工作气体气流分布均匀。 |
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2.2 真空系统的各种抽气操作均采用程序控制器（ PLC ）控制，以实现全部抽气过程的自动操作。 |
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2.3 卷绕系统驱动装置中，采用进口的张力传感器和张力控制器来实现收、放卷卷绕张力的闭环控制，以确保卷绕过程中基体材料运行张力的稳定。 |
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2.4 镀膜主辊配备了一套快速高效的冷冻 / 回暖循环装置，该装置可以在镀膜过程中使镀膜主辊冷冻至 -15 ℃ 以下，以冷却被镀的基体材料，该装置在镀膜结束后还可以将主辊升温至 25 ℃ 以上，使回复大气时主辊不结露。 |
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2.5 由多台进口质量流量计构成工作气体控制系统，该系统可以根据需要输入 2 — 3 种工作气体，并可精确控制各种气体的进气量。 |
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2.6 根据用户需要可以在收卷一侧配备一组膜层检测探头，检测仪器可以实时监测膜层的可见光透射率或者方块电阻值。 |
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2.7 根据用户需要可以安装长条离子源 , 对基材实施镀前处理。 |
