上海曙光机械制造厂

JCJ-D1200型系列磁控溅射卷绕镀膜设备

1 ．用途

JCJ-1200 型系列磁控溅射镀膜设备是用磁控溅射方法在塑料薄膜基材上镀制太阳控制膜、低辐射膜、 ITO 透明导电膜、航天专用膜等功能性膜层。适应于镀制汽车、火车、轮船等前挡及玻璃门窗的贴膜；建筑门窗及幕墙贴膜；防静电和电磁贴膜；装饰贴膜和包装膜；太阳能暖房贴膜；电加热器膜；防霜雾透明膜；液晶显示和场致发光显示用透明电极膜；卫星、飞船上的隔离膜等。

2 ．特点

2.1 真空室由中隔板分成上下两室，上室为卷绕室，下室为溅射室。由多套真空机组和一套深冷吸附抽气系统（制冷温度 -130 ℃ ）对上室抽气。下室的个阴极之间用隔离槽隔离，并由单独的真空机组通过隔离槽对下室抽气，使工作气体气流分布均匀。

2.2 真空系统的各种抽气操作均采用程序控制器（ PLC ）控制，以实现全部抽气过程的自动操作。

2.3 卷绕系统驱动装置中，采用进口的张力传感器和张力控制器来实现收、放卷卷绕张力的闭环控制，以确保卷绕过程中基体材料运行张力的稳定。

2.4 镀膜主辊配备了一套快速高效的冷冻 / 回暖循环装置，该装置可以在镀膜过程中使镀膜主辊冷冻至 -15 ℃ 以下，以冷却被镀的基体材料，该装置在镀膜结束后还可以将主辊升温至 25 ℃ 以上，使回复大气时主辊不结露。

2.5 由多台进口质量流量计构成工作气体控制系统，该系统可以根据需要输入 2 — 3 种工作气体，并可精确控制各种气体的进气量。

2.6 根据用户需要可以在收卷一侧配备一组膜层检测探头，检测仪器可以实时监测膜层的可见光透射率或者方块电阻值。

2.7 根据用户需要可以安装长条离子源 , 对基材实施镀前处理。

JCJ-D1200型系列磁控溅射卷绕镀膜设备

型号		JCJ-1200/3	JCJ-1200/5	JCJ-1200/7
真空室尺寸 mm		2400×1300×2200	2420×1400×1880	2420×1600×2400
卷膜条件	基体材料	PET 等， 12 — 100 μ m
	最大宽幅 mm	1200
	最大卷径 mm	Φ 300
	卷芯内径 mm	Φ 75
	卷绕速度 m/min	1 — 5
	主辊温度 ℃	-15 — 25
	卷绕张力 N	25 — 250
真空条件	极限压力 Pa (清洁空容器)	1.3 × 10^-3	10^-4
	恢复真空时间 min(清洁空容器)	10⁵ Pa — 7×10^-3 Pa ≤ 15
	深冷吸附系统制冷温度℃	-130 — 25
溅射条件	阴极型式	矩形
	阴极数量个	3	5	7
	离子源个	1
镀膜条件	膜层厚度 nm	金属膜 8 — 50 介质膜 20 — 50
	膜层均匀性 %	± 5
	膜层方阻 Ω / □	5 — 500
	可见光透射率 %	20 — 80
	红外反射率 %	35 — 90
冷却水耗量 m 3 /H		20
最大耗电量 kW		150	165	185

ZZ1688(1.4)V-JC 立式双开门磁控溅射装饰镀膜设备

	1 ．用途
	该产品是专门为汽车后视镜溅射铬膜设计的，但是可以更换靶材，在其他基材上溅射各种金属或合金的装饰膜。
	2 ．特点
	2.1 立式双开门结构，两套工件架 , 容易更换工件，缩短工作周期。
	2.2 两套柱状磁控溅射阴极交替工作 , 环状靶材分割成小段 , 容易更换。
	2.3 扩散泵上部带有制冷温度为 -140 ℃ 的深低温冷阱 , 可以有效抑制返油 , 并能提高抽气能力。
	2.4 由 PLC 和人机界面实现自动或手动两种控制方式 , 两种方式均在人机界面上操作。

ZZ1688(1.4)V-JC 立式双开门磁控溅射装饰镀膜设备

型号/指标	ZZ1688(1.4)V-JC
真空室尺寸	φ 1400 × 1500( 直边 )mm
空载极限压力	7 × 10^-4 Pa
空载恢复真空抽气时间	10⁵ Pa — 7×10^-2 Pa ≤ 5min
工件公转速度	1~3 转 /min 变频调速
工件盛放量	小型车后视镜 160~180 片 / 每炉
柱状磁控溅射阴极数量	2 套交替工作
阴极电源	30kW 直流衡流源
镜片反射率	57~60%

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